姓名:尹韶辉
性别:男
工作单位:湖南大学机械与运载工程学院
研究方向:
1. 非球面光学透镜及光学模具的超精密加工工艺及装备研发
2. 微结构/微尺度/非球面透镜超精密热压成型技术研发
3. 第三代半导体晶圆减薄磨削、CMP抛光工艺及装备研发
4. 磁流变化学纳米研磨工艺及装备研发
5. 超精密在位/在线测量技术研发
6. 超精密/纳米加工及成型过程仿真
7. 复杂曲面超精密/纳米加工数控软件研发
8. 加工过程视觉检测及监控技术研发